激光清洗的进行是机械装置、有关能量和污物层的各种相关因素的综合。激光切割机如果大多数污物对1.064um的光吸收强烈，激光切割机在清洗过程就能在低能量下(<1j/cm2)轻易进行，并将对底层表面的破坏减至最低。强烈的能量吸收导致快速加热和并发的污物颗粒膨胀。由于脉冲波长很短，膨胀过程很快发生，生成的合力能将污物颗粒从表面喷射出去。这是一个有选择性的过程。如果能量稍微提高，一些材料将被加热到足够高的温度而发生蒸发。在更高的能量（大于1.5J/cm2，数值取决于污物层），移除污物的过程机理变得更加复杂，并包括表面附近的离子体的形成和生成的振动波。这样清洗的选择性就降低了，并能引起底层表面的破坏。因此，清洗过程应采用最低的实用能量，这样操作激光切割机就具有更高的选择性。